特許

J-GLOBAL ID：200903076646046523

粘着性ペリクル膜およびペリクル

発明者： 松岡 英登 ,  福岡 大典 ,  木曽 佳久 ,  藤田 稔
出願人/特許権者： 三井石油化学工業株式会社
代理人 (1件)： 柳原 成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342840
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186732
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】 粘着性および光線透過率に優れ、しかも波長360〜450nmの短波長光に対しても優れた耐光性を有する粘着性ペリクル膜を得る。【構成】 セルロースの脂肪酸エステル透明薄膜の一方の面に、式CH2=C(R1)-COOR2(R1はHまたはメチル基、R2は直鎖状のフルオロアルキル基)で表されるモノマー(A)と、式CH2=C(R3)-COOR4(R3はHまたはメチル基、R4は分岐状のフルオロアルキル基)で表されるモノマー(B)との共重合体であって、共重合体中のモノマー(A)の構成成分割合が20〜80モル%、モノマー(B)の構成成分割合が80〜20モル%であり、かつ60°Cのメタキシレンヘキサフルオライド中で測定した極限粘度[η]が0.10〜0.35dl/gである含フッ素ポリ(メタ)アクリレートからなる粘着性物質層が形成されている波長360〜450nmの短波長光露光用の粘着性ペリクル膜。

請求項（抜粋）：

セルロースの脂肪酸エステル透明薄膜の一方の面に、一般式〔1〕【化1】(式中、R1は水素原子またはメチル基、R2は直鎖状のフルオロアルキル基を示す。)で表される少なくとも1種のモノマー(A)と、一般式〔2〕【化2】(式中、R3は水素原子またはメチル基、R4は分岐状のフルオロアルキル基を示す。)で表される少なくとも一種のモノマー(B)との共重合体であって、共重合体中のモノマー(A)の構成成分割合が20〜80モル%、モノマー(B)の構成成分割合が80〜20モル%であり、かつ60°Cのメタキシレンヘキサフルオライド中で測定した極限粘度[η]が0.10〜0.35dl/gである含フッ素ポリ(メタ)アクリレートからなる粘着性物質層が形成されていることを特徴とする波長360〜450nmの短波長光露光用の粘着性ペリクル膜。

IPC (6件)：

G03F 1/14 ,  B32B 27/30 ,  C09J 7/02 JJW ,  C09J 7/02 JLE ,  C09J133/14 JDE ,  H01L 21/027