特許
J-GLOBAL ID：200903076649913848
離型フイルム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-334953
公開番号（公開出願番号）：特開平9-174763
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：
【要約】【課題】 ポリエステルフイルムをベースフイルムとし、ポリエステルフイルム中の不純物が離型層表面へ移行するのを抑制した、シリコンウエハー製造の際のダイシング工程で使用する粘着剤の保護フイルム等に有用な離型フイルムを提供する。【解決手段】 ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られるポリエステルを主成分とするポリエステルフイルムの少なくとも片面に、シランカップリング剤を架橋させた0.02〜2μmの肉厚のプライマー層を設け、その上に残留接着率が95%以上であるシリコーン離型層を設けてなる離型フイルム。
請求項（抜粋）：
ゲルマニウム化合物を重縮合反応触媒に用いて得られるポリエステルを主成分とするポリエステルフイルムの少なくとも片面に、下記式(I)で示される化合物を架橋させた0.02〜2μmの肉厚のプライマー層を設け、その上に残留接着率が95%以上のシリコーン離型層を設けてなる離型フイルム。【化1】Y-Si-X3 ......式(I)[式(I)で、Xはアルコキシ基、Yはエポキシ基、アミノ基、ビニル基、メタクリル基、メルカプト基またはアルコキシ基を有する反応性有機官能基を示す。]
IPC (4件)：
B32B 27/00
, B32B 27/00 101
, B32B 27/36
, H01L 21/301
B32B 27/00 L
, B32B 27/00 101
, B32B 27/36
, H01L 21/78 M
