特許
J-GLOBAL ID：200903076650765020
非接触型プローブおよび非接触電圧測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 次男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-221951
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102295
出願日： 1992年07月28日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【目的】 クロストークがなく、しかもプローブ先端と被測定配線の空隙間隔に依存することなしに、被測定配線の絶対電圧の測定を可能とする。【構成】 フィードバック回路55により、差動増幅器52の出力が、例えばゼロになるように、導電膜22〜24の電圧が制御される。ピンホールhには外部電界が照射されておらず、導電膜と被測定配線12の電圧が等しくなる。電気光学材料21内での測定用光の偏光の変化を電気光学材料21内に生じる電位差として検出し、さらにこの電位差に基づき被測定配線12の電圧を測定する。導電膜の電圧と被測定配線の電圧とを比較するので、非接触型プローブ20Cと被測定回路10との間の距離に誤差が生じても、これが電圧測定の誤差となって表れることはなく、高精度に被測定配線12の電圧が測定される。
請求項（抜粋）：
外部電界の照射面と、検出用光の入・出射面とを有する電気光学材料により構成された非接触型プローブであって、前記外部電界の照射面がピンホールを有する導電膜により被覆されてなることを特徴とする非接触型プローブ。
IPC (4件)：
G01R 19/00
, G01R 15/07
, G01R 31/302
, H01L 21/66
