特許

J-GLOBAL ID：200903076654462935

ガスレーザ装置

発明者： 寺井 清寿 ,  村田 隆昭 ,  鈴木 博勝 ,  玉川 徹
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 強 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-090693
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291662
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 電源電圧条件、或は電極構造及びレーザガス圧力を含む放電条件を適宜に設定するだけでレーザ発振効率の向上を実現する。【構成】 レーザガスが循環する放電空間5を挟んで第1の誘電体電極3、第2の誘電体電極4を対向配置する。両電極3、4間に接続された交流電源12の出力周波数を700kHz以上に設定すると共に、その交流電源12の出力電圧を、放電空間5で生成される陽光柱電圧がレーザ励起に寄与しない電極層領域での負担電圧(通常は実効値で450V)より大きくなるようなレベルに設定している。

請求項（抜粋）：

レーザガスが循環する放電空間を挟んだ状態で配置された少なくとも一対の電極と、これら電極に接続された交流電源とを備えたガスレーザ装置において、前記交流電源の周波数を700kHz以上に設定すると共に、その交流電源の出力電圧を、前記放電空間で生成される陽光柱電圧がレーザ励起に寄与しない電極層領域での負担電圧より大きくなるようなレベルに設定したことを特徴とするガスレーザ装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-098171
  
• 特開昭63-098171
  
• 特開昭63-098171