マクロ検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-067910
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261945
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】本発明は、標本の欠陥部とスポット光の一致確認を確実にでき、位置座標の読取り精度を向上させることができるマクロ検査装置を提供する。【構成】標本11に対し標本照明光を標本照明光源13より照射するとともに、目視により標本11面の欠陥を検出し、この照明光による目視検査により標本面に欠陥が見付かると、この欠陥位置までスポット投影ユニット14を移動させ、この欠陥部に一致させるようにスポットを投影するとともに、この時のスポット投影ユニット14の標本11面に沿った移動量から欠陥部の座標位置を読取器27により検出するもので、スポット投影ユニット14のハーフミラー17を含む光路を支持する支持部材142に光透過部材を使用している。

請求項（抜粋）：

標本と、この標本に対し目視により標本面の欠陥を検出するための標本照明光を照射する光源と、前記標本面に沿って移動自在に設けられ前記標本面に欠陥が見付かると該欠陥位置まで移動されスポットを投影するもので、少なくとも前記欠陥位置にスポットを投影する光路の支持部を光透過部材より形成したスポット投影手段と、このスポット投影手段の前記標本面に沿った移動量から欠陥部の座標位置を検出する座標位置検出手段とを具備したことを特徴とするマクロ検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/84 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , G02F 1/13 101 , G12B 5/00

FI (6件)：

G01N 21/84 D , G01N 21/84 E , G01B 11/30 D , G01N 21/88 D , G02F 1/13 101 , G12B 5/00 T

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