特許
J-GLOBAL ID：200903076659275459
光学的測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-009937
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218230
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 位置検出素子における測定精度を向上させる。【構成】 位置検出手段101上に光ビームの結像位置に応じて光ビームの出力が逆比例配分された2つの信号が位置検出手段101の両端から出力され、第1の演算手段103により両出力信号の和を演算するとともに第2の演算手段104により位置検出手段101上の結像位置の情報を意味する位置信号を演算し、判定手段105によって、第1の演算手段103によって得られた和信号に基づいて記憶手段102に記憶された第1のデータテーブルからどの断面位置かを判定し、決定された断面位置でのデータテーブルを記憶手段102に記憶された第2のデータテーブルから選択し、補間演算手段106によって第2のデータテーブルから第2の演算手段104によって得られた位置信号に対応する結像位置を求める。
請求項（抜粋）：
光ビームの結像位置に応じて両端から光ビームの出力が逆比例配分された信号を出力する位置検出手段と、この位置検出手段における測定方向と平行な方向の位置検出手段の複数の断面位置と出力信号の和との対応関係を表す第1のデータテーブル、および前記位置検出手段の前記各断面位置ごとの光ビームの結像位置とこの結像位置の位置情報となる位置信号との対応関係を表す複数のデータテーブルからなる第2のデータテーブルとを記憶する記憶手段と、前記位置検出手段から出力された両出力信号の和を演算する第1の演算手段と、前記両出力信号により前記位置信号を演算する第2の演算手段と、前記第1の演算手段によって得られた和信号に基づいて前記第1のデータテーブルからどの断面位置かを判定する判定手段と、この判定手段によって判定された断面位置でのデータテーブルを前記第2のデータテーブルから選択し、このデータテーブルにより前記第2の演算手段によって得られた位置信号に対応する結像位置を補間演算する補間演算手段とを設けたことを特徴とする光学的測定装置。
IPC (5件)：
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G01B 21/00
, G06F 3/03 330
, G06F 3/03 380
