特許
J-GLOBAL ID：200903076667517984
基板保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-145546
公開番号（公開出願番号）：特開平6-334024
出願日： 1993年05月24日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 基板の表面状態や周りの雰囲気が変化しても、静電チャックから基板に加えられる吸着力を一定に保つことができるようにした基板保持装置を提供する。【構成】 静電チャック2の裏面側に、静電チャック2から基板10に加えられる吸着力を計測してそれに応じた計測信号S2 を出力するセンサー22を取り付けた。また、この計測信号S2 と設定値K2 との間の差を求めてその差が0に近づくように、吸着用電源12aから出力する電圧+V,-Vを制御する吸着制御回路26を設けた。
請求項（抜粋）：
基板を静電気によって吸着する静電チャックと、この静電チャックに吸着用の電圧を供給する吸着用電源とを備える基板保持装置において、前記静電チャックから基板に加えられる吸着力を計測してそれに応じた計測信号を出力するセンサーと、この計測信号と設定値との間の差を求めてその差が0に近づくように、前記吸着用電源から出力する電圧を制御する吸着制御回路とを備えることを特徴とする基板保持装置。
IPC (7件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, C23C 14/50
, H01J 37/20
, H01J 37/317
, H01L 21/265
, H01L 21/302
