特許

J-GLOBAL ID：200903076678281885

プラズマエッチング用平行平板電極

発明者： 林 和行 ,  宮田 征一郎
出願人/特許権者： 株式会社創造科学 ,  有限会社ミヤタアールアンディー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-254420
公開番号（公開出願番号）：特開平9-067685
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】 電極板の冷却特性に優れ、電極板と補助板が一体となったプラズマエッチング用平行平板電極に関する。【解決手段】 Siからなる電極板と、該電極板の背面に当接して該電極板を補強する補強板の組み合わせからなり、該電極板と補強板の板面に多数のガス噴出孔が穿孔され、該電極板と補強板の噴射孔が連通された構造のプラズマエッチング用平行平板電極において、該補強板が炭素材料からなり、該電極板と補強板の当接面が冶金的に接合されてなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

Siからなる電極板と、該電極板の背面に当接して該電極板を補強する補強板の組み合わせからなり、該電極板と補強板の板面に多数のガス噴出孔が穿孔され、該電極板と補強板の噴射孔が連通された構造のプラズマエッチング用平行平板電極において、該補強板が炭素材料からなり、該電極板と補強板の当接面が冶金的に接合されてなることを特徴とするプラズマエッチング用平行平板電極。

IPC (3件)：

C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (3件)：

C23F 4/00 A ,  H05H 1/46 M ,  H01L 21/302 C