特許
J-GLOBAL ID:200903076679481616
ガラスのスクライブ方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
角田 芳末
, 伊藤 仁恭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-166328
公開番号(公開出願番号):特開2007-331983
出願日: 2006年06月15日
公開日(公表日): 2007年12月27日
要約:
【課題】ガラス基板に対し水平方向に発生する微小クラックの発生を未然に防ぎ、垂直方向の良好な溝形成だけを行うことを可能にする。【解決手段】パルス幅が100ps以下の短パルスレーザ光を掃引照射することにより、ガラス表面に切断用の溝を形成する。塑性変形に伴う残留応力、熱歪みがそれぞれ原理的に発生しないため、微小クラックの発生を抑制または回避でき、垂直方向の溝のみを良好に形成する。この結果、安定なガラスの切断を実現し、また、切断したガラス基板に対して、安定的かつ十分な曲げ強度を提供する。【選択図】図8
請求項(抜粋):
パルス幅が100ピコ秒以下の短パルスレーザ光をガラス表面に掃引照射することにより、前記ガラス表面に切断用の溝を形成する
ことを特徴とするガラスのスクライブ方法。
IPC (3件):
C03B 33/09
, B23K 26/00
, B28D 5/00
FI (3件):
C03B33/09
, B23K26/00 D
, B28D5/00 Z
Fターム (21件):
3C069AA03
, 3C069BA08
, 3C069BB01
, 3C069BC01
, 3C069BC04
, 3C069CA11
, 3C069EA02
, 3C069EA04
, 3C069EA05
, 4E068AA05
, 4E068AD01
, 4E068CA01
, 4E068CA02
, 4E068CA03
, 4E068CA08
, 4E068CA09
, 4E068CA13
, 4E068DB13
, 4G015FA06
, 4G015FB01
, 4G015FB02
引用特許: