特許

J-GLOBAL ID：200903076683109675

成膜装置用除害装置及びこれを用いた成膜装置における除害方法

発明者： 佐藤 清志
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-199596
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025909
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】 毒性、発火、発煙の発生を減少させ、メンテナンスを安全に行える反応装置における成膜装置用除害装置及びこれを用いた成膜装置における除害方法を得ること。【解決手段】 本発明の一つである除害装置20は、台車210上にパージガスボンベ220、酸化処理ガスボンベ230、除害塔240が搭載、固定されている。この除害装置20を成膜装置1のメンテナンス作業などを行う構成装置部分に配設し、反応装置2から排出される、空気と反応すると発火、発煙する物質であるリンをそれぞれの酸化処理ポート装置10A、10Bで成膜装置用除害装置20(図2)から供給される酸化処理ガス(N2O)で酸化処理し、非発火、非発煙化して除害した後、前記各配管を取り外して構成装置をメンテナンスする方法である。除害した後は、パージガスボンベ220からパージガスを同一の酸化処理ポート管11に流し、残存している酸化処理ガスをパージする。

請求項（抜粋）：

供給配管が接続されているパージガスボンベと、供給配管が接続されている酸化処理ガスボンベと、排気ガス導入管及び排気ガス排出管が接続されている除害塔と、前記パージガスボンベ、前記酸化処理ガスボンベ及び除害塔とを載置し、搬送できる台車とを備えた成膜装置用除害装置。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  B01D 53/46 ,  C23C 16/44 ,  B01J 19/00

FI (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 E ,  B01J 19/00 H ,  B01D 53/34 120 A

Fターム (23件)：

4D002AA27 ,  4D002AC10 ,  4D002BA01 ,  4D002BA04 ,  4D002CA07 ,  4D002EA05 ,  4D002HA10 ,  4G075AA30 ,  4G075AA37 ,  4G075AA57 ,  4G075BA06 ,  4G075BB05 ,  4G075BD14 ,  4G075CA57 ,  4K030EA12 ,  5F045EB05 ,  5F045EB06 ,  5F045EB12 ,  5F045EC07 ,  5F045EE04 ,  5F045EG03 ,  5F045EG07 ,  5F045EG08