特許

J-GLOBAL ID：200903076690562725

位置決め装置

発明者： 小山内 英司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-077737
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267823
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】 位置決めの高速化および高精度化を促進する。【構成】 露光装置のXYステージ等に支持された台盤1は円筒状の固定部材2を有し、固定部材2に保持された多孔質パッド7は、図示しないウエハを保持する保持盤4と一体である案内部材3の内周面を非接触で支持する。台盤1は、θリニアモータ6によってその中心軸のまわりに回転され、また、周方向に等間隔で配設されたZリニアモータ5aによって図示上下方向に往復移動される。Zリニアモータ5aおよびθリニアモータ6はそれぞれ保持盤4に固着された可動子5d,6aと、台盤1に固定されたコイルからなる固定子5e,6bによって構成されている。

請求項（抜粋）：

台盤に立設された支持手段の支持面に対向する案内面を有する保持盤と、前記支持面と前記案内面を互に非接触に支持する静圧軸受手段と、前記保持盤を前記支持面に平行な軸に沿って移動させる第1の駆動手段と、前記保持盤を前記支持面に平行な軸のまわりに回転させる第2の駆動手段を有し、前記第1の駆動手段および前記第2の駆動手段が前記台盤に個別に支持されていることを特徴とする位置決め装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 1/02 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 311 M ,  H01L 21/30 301 Z