特許
J-GLOBAL ID：200903076690828105
流体流量制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-028610
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227807
出願日： 1999年02月05日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】【課題】 微小流量を高精度で検知して流体流通を高精度に制御し、流量センサーヘッド部の構成を簡単化し小型化して低コスト化し使い捨て可能にし、流体を識別することが可能な流体流量制御装置を提供する。【解決手段】 管路202を有するケーシング206に取り付けられた流量センサーヘッド部208と、管路202内の流体流通を調節する手段と、ヘッド部208からの電気信号に基づき管路202内の流体流量値を算出し流体流通調節手段を制御する制御手段とを備えている。ケーシング206へのコネクタ214の着脱によりヘッド部208の電極端子52とコネクタ214の電極端子210aとの電気的な接続・分離がなされる。制御手段は算出した流量値と目標流量値とに基づき管路202内の流体の算出流量値が目標流量値となるように流体流通調節手段を制御する。
請求項（抜粋）：
流体流通管路を有するケーシングに取り付けられた流量センサーヘッド部と、前記流体流通管路内の流体の流通を調節する流体流通調節手段と、前記流量センサーヘッド部からの電気信号に基づき前記流体流通管路内の流体の流量値を算出し該流量値に基づき前記流体流通調節手段を制御する制御手段とを備えており、前記ケーシングには一端が前記制御手段と接続されたケーブルの他端を有するコネクタが着脱可能に取り付けられ、前記ケーシングへの前記コネクタの着脱により前記流量センサーヘッド部の電極端子と前記コネクタのケーブル他端との電気的な接続・分離がなされるようにしてなることを特徴とする流体流量制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2F035EA04
, 2F035EA08
, 5H307AA14
, 5H307AA15
, 5H307BB01
, 5H307BB05
, 5H307BB16
, 5H307DD10
, 5H307DD11
, 5H307DD12
, 5H307DD20
, 5H307EE22
, 5H307FF06
, 5H307FF15
, 5H307GG11
, 5H307GG13
, 5H307GG15
, 5H307HH04
, 5H307HH11
, 5H307HH12
