特許

J-GLOBAL ID：200903076694941666

液滴噴射装置及び塗布体の製造方法

発明者： 小泉 洋 ,  添田 勝之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (7件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-183244
公開番号（公開出願番号）：特開2008-012377
出願日： 2006年07月03日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：

【課題】乾燥後の液滴の薄膜形状及び膜厚のばらつきを抑えることができる液滴噴射装置を提供する。【解決手段】液滴噴射装置1において、塗布対象物2に対して液滴を噴射する液滴噴射ヘッド7と、液滴噴射ヘッド7により液滴が噴射された塗布対象物2に対して気体をそれぞれ噴出する複数の噴出ノズル及び液滴噴射ヘッド7により液滴が噴射された塗布対象物2の周囲の気体をそれぞれ吸引する複数の吸引ノズルを有し、塗布対象物2上の液滴を乾燥させる乾燥部10とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

塗布対象物に対して液滴を噴射する液滴噴射ヘッドと、 前記液滴噴射ヘッドにより前記液滴が噴射された前記塗布対象物に対して気体をそれぞれ噴出する複数の噴出ノズル及び前記液滴噴射ヘッドにより前記液滴が噴射された前記塗布対象物の周囲の気体をそれぞれ吸引する複数の吸引ノズルを有し、前記塗布対象物上の前記液滴を乾燥させる乾燥部と、 を備えることを特徴とする液滴噴射装置。

IPC (3件)：

B05C 5/00 ,  B05C 9/12 ,  B05D 1/26

FI (3件)：

B05C5/00 101 ,  B05C9/12 ,  B05D1/26 Z

Fターム (17件)：

4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC94 ,  4D075BB56Y ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA51 ,  4F042AA06 ,  4F042BA04 ,  4F042BA11 ,  4F042DA08

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 真空乾燥装置および真空乾燥方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-045541   出願人：大日本印刷株式会社
• 基板処理装置および基板処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-030407   出願人：大日本スクリーン製造株式会社