特許

J-GLOBAL ID：200903076706258851

反射鏡の熱変形の制御システム及び露光装置

発明者： マイケル ソガード
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-176174
公開番号（公開出願番号）：特開2004-031958
出願日： 2003年06月20日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【解決課題】極端紫外線領域では反射鏡等の光学素子は大きな光吸収を有する。このような場合、吸収によって生じる熱により光学素子は熱変形を起こし、結像性能は低下する。このような結像性能の低下は半導体露光装置のような高精細な光学特性が要求される場合には補正されることが必須となる。【解決手段】光学性能の低下を光学素子の保持部等の機械的な調整によって回復出来るようにするため、熱変形が局所的なものにならないようにする。局所的な変形を引き起こす要因は結像に関与する光束が光学素子に一様に入射しないことにあるので、非照射領域を別途熱源により加熱して温度分布に(空間的に)高次成分を持たせないようにする。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

照明領域と非照明領域とを有する光学素子の熱変形を低減する素子制御システムであって、 該光学素子の該非照明領域の少なくとも一部分に放射を供給して加熱する第1の熱源を有することを特徴とする素子制御システム。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G02B5/26 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 531A ,  G02B5/26 ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/30 517

Fターム (17件)：

2H048FA07 ,  2H048FA09 ,  2H048FA18 ,  2H048FA24 ,  2H097BA02 ,  2H097CA15 ,  2H097JA02 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046DA13 ,  5F046DA26 ,  5F046DB04 ,  5F046DB05 ,  5F046DC14 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GB09