特許
J-GLOBAL ID：200903076706465059
基板保持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-325588
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183700
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】多種の電子部品実装パターンに応じて、複数のピストンが、ダンパー作用により、基板を保持することにより、段取り時間の短縮化、生産性の向上を実現する基本保持装置を提供する。【構成】スプリング6により上方に付勢され先端部で基板を保持するピストン1の基端部に、上下方向に貫通する小孔1bを有する板形状部1aを設け、内部で板形状板1bが摺動するシリンダ8を設け、このシリンダ8にその底部に隣接してそれより径大の穴部9を設け、このシリンダ8と穴部9をサポートプレート2に複数形成するとともに、シリンダ8と穴部9内に粘性流体7を収容し、このサポートプレート2を駆動装置を介して支持するXYテーブルを設けた。
請求項（抜粋）：
先端部にスプリングの先端を支持する段付部を有し、基端部に板形状部を有し、かつこの板形状部に上下方向に貫通された孔を有するとともに、上方に付勢する前記スプリングにより、先端部で基板を押圧可能なピストンと、内部で前記ピストンの板形状部が摺動するシリンダと、前記ピストンの板形状部の径より大きな径で、前記シリンダに隣接して設けられた穴部と、前記シリンダおよび穴部に収容されて前記ピストンを支持する粘性流体と、前記シリンダおよび穴部を複数形成されたサポートプレートと、前記サポートプレートを上下に駆動する駆動装置と、前記サポートプレートを前記駆動装置を介して支持するXYテーブルを備えた基板保持装置。
IPC (2件)：
H05K 13/04
, B23P 19/00 302
