特許
J-GLOBAL ID：200903076707124018
合成石英ガラス部材のエキシマレーザ照射初期吸収の評価方法およびこの方法で評価した合成ガラス部材を用いた露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-022345
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221206
出願日： 1997年02月05日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 合成石英ガラスに対してエキシマレーザを照射した際に生じる照射初期吸収を簡便且つ迅速に予測可能な照射初期吸収の評価方法を得る。【解決手段】 まず、合成石英ガラス部材にエキシマランプから中心波長172nm以下の光を照射し、この照射により合成石英ガラス部材において発生する215nm波長光の吸収帯における吸収を計測し、この215nm吸収帯での吸収に基づいて、合成石英ガラス部材にKrFもしくはArFエキシマレーザ光を照射したときに発生する照射初期吸収量を予測する。
請求項（抜粋）：
合成石英ガラス部材にエキシマランプから中心波長172nm以下の光を照射し、この照射により前記合成石英ガラス部材において発生する215nm波長光の吸収帯における吸収を計測し、この215nm吸収帯の吸収に基づいて、前記合成石英ガラス部材にKrFエキシマレーザ光を照射したときに発生する照射初期吸収量を予測することを特徴とする合成石英ガラス部材のエキシマレーザ照射初期吸収の評価方法。
IPC (3件)：
G01M 11/00
, G01J 1/00
, H01L 21/027
G01M 11/00 T
, G01J 1/00 F
, H01L 21/30 515 D
