特許
J-GLOBAL ID：200903076709211899
光走査装置用弾性部材の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-114581
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297277
出願日： 1996年05月09日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 光走査装置用の弾性部材を、高い精度で、且つ容易に製造することができる光走査装置用弾性部材の製造方法を提供する。【解決手段】 TiーNi系形状記憶合金板21上に、トーションバネ5の平面形状に対応するレジスト層22を形成し、そのレジスト層22が形成されていない部分を電解研磨法によって溶解させて、両端部に前記ハウジングに支持される固定部を形成し、且つ、中央部に磁石付きミラーを支持する取付部を形成する。
請求項（抜粋）：
両端部がハウジングに支持され、且つ、中央部がレーザー光線を反射させるための磁石付きミラーを振動可能に支持する光走査装置用弾性部材の製造方法において、弾性を有する薄板上に、前記弾性部材の平面形状に対応するレジスト層を形成し、そのレジスト層が形成されていない部分を電解研磨法によって溶解させて、前記両端部に前記ハウジングに支持される固定部を形成し、且つ、前記中央部に前記磁石付きミラーを支持する取付部を形成することを特徴とする光走査装置用弾性部材の製造方法。
IPC (2件)：
G02B 26/10 104
, B41J 2/44
G02B 26/10 104
, B41J 3/00 D
