物体表面形状計測装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-374636
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172611
出願日： 2001年12月07日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】高速で正確に物体の表面形状情報を取得することが可能な表面形状計測装置を提供する。【解決手段】 2次元に配置した受光素子110の一行毎に対応してアンプ120、A/D変換器130を配置して高速での読み出しを可能にするとともに、読み出した1列分の信号を基にして次の列を読み出す際のアンプのゲインを感度制御回路152によって調整することで適応的な感度調整を行う。

請求項（抜粋）：

光切断法により被測定物の表面形状を測定する物体表面形状計測装置であって、被測定物に対してスリット光を照射するスリット光照射手段と、複数の受光素子が2次元状に配列されて形成され、前記スリット光照射方向とは異なる角度方向から被測定物に投影されているスリット光の像を撮像する少なくとも一つの受光素子アレイと、前記受光素子アレイの受光素子一行ごとに1個ずつ設けられ、行内の受光素子から順次読み出された出力信号を増幅あるいは減衰させて出力するゲイン可変のアンプを複数個配列させたアンプアレイと、対応する前記アンプから出力される出力信号をアナログ・デジタル変換して出力するA/D変換器が複数個配列させたA/D変換器アレイと、前記受光素子アレイの同一列の受光素子に対応する出力デジタル信号を基にして前記アンプのゲインを調整する感度制御装置と、前記受光素子アレイの同一列の受光素子に対応する出力デジタル信号を基にして列毎の画像の重心位置を演算する演算器と、を備えていることを特徴とする物体表面形状計測装置。

IPC (6件)：

G01B 11/24 , G01B 11/00 , G06T 1/00 420 , G06T 1/00 460 , H01L 31/12 , H04N 5/335

FI (6件)：

G01B 11/00 D , G06T 1/00 420 F , G06T 1/00 460 B , H01L 31/12 E , H04N 5/335 Z , G01B 11/24 A

Fターム (38件)：

2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065FF01 , 2F065GG16 , 2F065HH05 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065MM03 , 2F065NN11 , 2F065QQ03 , 2F065QQ31 , 2F065QQ42 , 5B047AA07 , 5B047AB02 , 5B047BA02 , 5B047BB04 , 5B047BC12 , 5B047BC14 , 5B047CA19 , 5B047CB22 , 5B047DA01 , 5B047DB01 , 5B047DC09 , 5C024BX03 , 5C024CY17 , 5C024GX03 , 5C024GZ41 , 5C024HX18 , 5C024HX23 , 5C024HX35 , 5F089AA10 , 5F089AB01 , 5F089AC07 , 5F089AC10 , 5F089CA17 , 5F089FA06

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