液晶表示装置及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西野卓嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-028154
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242467
出願日： 1993年02月17日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】本願は、画素電極の端が層間絶縁膜を介して、ドレインライン上にある構造をもつ液晶表示用薄膜トランジスタ基板において、画素電極とドレインラインとの重畳部において生じる短絡や寄生容量を減少させ、歩留の向上とクロストークの防止をはかるものである。【構成】ドレイン電極(19)およびドレインライン(20)の全表面に陽極酸化膜(23)が被覆された二層絶縁膜構造である。

請求項（抜粋）：

透明な絶縁性基板上に設けられた複数のゲートラインと、この複数のゲートラインに直交して設けられた複数のドレインラインと、前記ゲートラインと前記ドレインラインとの交点に設けられたソース電極、ドレイン電極、ゲート電極及び非単結晶シリコン膜より成る薄膜トランジスタと、前記ゲートラインと前記ドレインラインに囲まれた領域に設けられた画素電極とを少なくとも有する液晶表示装置において、前記ドレイン電極および前記ドレインラインは金属材料により成り、このドレイン電極およびドレインラインの表面が自己酸化膜により被覆されており、更に、この自己酸化膜を少なくとも覆う層間絶縁膜が設けられ、これを介して前記画素電極が前記ドレインライン上にまで延在されていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (4件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1333 505 , G02F 1/1343 , H01L 29/784

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-167437
特開平4-335617
特開平1-274116

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