ネガ型感光性樹脂前駆体組成物およびそれを用いた電子部品ならびに表示装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-319334
公開番号（公開出願番号）：特開2004-133435
出願日： 2003年09月11日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】アルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)フェノール性低分子化合物と、(c)重合性基を有する低分子化合物と、(d)光重合開始剤を含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂前駆体組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)フェノール性低分子化合物と、(c)重合性基を有する低分子化合物と、(d)光重合開始剤を含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂前駆体組成物。

IPC (7件)：

G03F7/027 , C08G73/10 , G03F7/004 , H01L21/027 , H05B33/12 , H05B33/14 , H05B33/22

FI (7件)：

G03F7/027 514 , C08G73/10 , G03F7/004 501 , H05B33/12 B , H05B33/14 A , H05B33/22 Z , H01L21/30 502R

Fターム (67件)：

2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025BC51 , 2H025BC69 , 2H025BC70 , 2H025CA01 , 2H025CA20 , 2H025CA27 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 3K007AB08 , 3K007AB11 , 3K007AB17 , 3K007BA06 , 3K007DB03 , 3K007EA00 , 3K007EB00 , 4J043PA19 , 4J043PC035 , 4J043PC036 , 4J043PC075 , 4J043PC076 , 4J043PC115 , 4J043PC145 , 4J043PC146 , 4J043QB32 , 4J043RA05 , 4J043RA07 , 4J043SA06 , 4J043SA54 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043TA02 , 4J043TA13 , 4J043TA14 , 4J043TA21 , 4J043TA22 , 4J043TA25 , 4J043TB01 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA151 , 4J043UA152 , 4J043UA262 , 4J043UA361 , 4J043UA381 , 4J043UB021 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB221 , 4J043UB222 , 4J043UB231 , 4J043UB232 , 4J043UB351 , 4J043UB401 , 4J043ZB22

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭54-109828号公報(第1-3頁)
感光性重合体組成物並びにこれを用いた電子部品及びその製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-181450 出願人：日立化成工業株式会社
特開平3-220558号公報(第1-3頁)

全件表示

前のページに戻る