特許

J-GLOBAL ID：200903076727519833

ネブライザ及び高周波誘導結合プラズマ発光分析装置

発明者： 小林 登代子
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-125943
公開番号（公開出願番号）：特開2002-318193
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】ICP発光分析装置などに好適に用いられるネブライザであって、粒径が10μm以下の均一な霧を安定に作成することができるネブライザを提供する。【解決手段】試料溶液11がポンプ等により給送される試料供給管16の先端部に、その外周に沿って環状の圧電振動体3を取り付け、先端部開口をふさぐようにメッシュ部材2を押さえカバー4によって取り付ける。メッシュ部材2には、径が0.1〜10μm程度の微小孔、を例えばレーザービーム加工、集束イオンビーム加工によって、多数形成しておく。

請求項（抜粋）：

試料溶液を霧化するネブライザであって、多数の微小孔を有するメッシュ部材に圧電振動体を固定してなるネブライザ。

IPC (3件)：

G01N 21/73 ,  G01N 1/28 ,  G01N 21/31 610

FI (3件)：

G01N 21/73 ,  G01N 21/31 610 B ,  G01N 1/28 T

Fターム (31件)：

2G043AA01 ,  2G043CA01 ,  2G043DA01 ,  2G043DA05 ,  2G043EA08 ,  2G043GA19 ,  2G043GB19 ,  2G043HA01 ,  2G043JA01 ,  2G043NA05 ,  2G052AD26 ,  2G052AD43 ,  2G052CA08 ,  2G052CA12 ,  2G052DA01 ,  2G052DA21 ,  2G052FD07 ,  2G052GA15 ,  2G052JA09 ,  2G052JA13 ,  2G052JA16 ,  2G059AA01 ,  2G059BB20 ,  2G059DD01 ,  2G059DD12 ,  2G059EE01 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059KK01 ,  2G059MM09 ,  2G059PP10