特許
J-GLOBAL ID:200903076735216424

高速型放射線検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-109465
公開番号(公開出願番号):特開平10-056196
出願日: 1997年04月25日
公開日(公表日): 1998年02月24日
要約:
【要約】【課題】 特に高エネルギビーム用の直接変換形放射線検出器において、電荷キャリアの平均的な自由遷移距離の範囲にあるアクティブな厚い半導体層のもとでも、より良好な応答速度が高精度のもとで達成されるように改善を行うこと。【解決手段】 第1の電極及び第2の電極を、作動電圧の供給のために前記半導体の相互に対向している第1及び第2の主要面に設け、前記測定装置を、前記第1の電極と第2の電極の間で放射線によって形成される信号電流を検出するために設け、前記注入電極を、該注入電極と第2の電極との間に注入電圧を供給しさらに放射線に依存しない暗電流を生成するために前記第1の主要面に設け、前記第1の電極と注入電極を、交差指形構造に構成し、作動電圧を注入電圧よりも大きくかつ前記電極における電圧が検出器の適用に応じて相互に依存することなく設定可能であるように構成する。
請求項(抜粋):
高速型放射線検出器において、半導体(1)と、第1の電極(2)及び第2の電極(4)と、測定装置(9)と、付加的な注入電極(3)とを有し、前記第1の電極(2)及び第2の電極(4)は、作動電圧の供給のために前記半導体(1)の相互に対向している第1及び第2の主要面に設けられており、前記測定装置(9)は、前記第1の電極(2)と第2の電極(4)の間で放射線によって形成される信号電流を検出するために設けられており、前記注入電極(3)は、該注入電極(3)と第2の電極(4)との間に注入電圧を供給しさらに放射線に依存しない暗電流(10)を生成するために前記第1の主要面に設けられており、前記第1の電極(2)と注入電極(3)は、交差指形構造で構成されており、作動電圧が注入電圧よりも大きくかつ前記電極における電圧が検出器の適用に応じて相互に依存することなく設定可能であることを特徴とする、高速型放射線検出器。
IPC (3件):
H01L 31/09 ,  G01T 1/24 ,  H01L 31/10
FI (3件):
H01L 31/00 A ,  G01T 1/24 ,  H01L 31/10 A
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-093277
  • 特開昭59-114875

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