特許

J-GLOBAL ID：200903076736820864

基板収納ケース

発明者： 中原 兼文 ,  折笠 恒明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン ,  株式会社仙台ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-200808
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058192
出願日： 1993年08月12日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 本来の機能である防塵性を損なうことなく、且つ新たな発塵の要因を作ることなく、収納ケースの一部又は全部に帯電防止効果を持たせる。【構成】 金属性の底板1上にコの字型の側面部材2を取り付け、側面部材2に対してヒンジ3を介して開閉自在に上蓋4を取り付け、上蓋4にヒンジ5を介して回動自在に前蓋6を取り付ける。側面部材2上にレチクルを載置した状態で、上蓋4を側面部材2上に閉じて前蓋6を閉じることにより、レチクルを収納する。側面部材2を、変性PPE中に導電性のある共重合体を形成した材料より構成し、上蓋4を透明で且つ導電性のある材料より構成する。

請求項（抜粋）：

前面が抜けた箱状のケースと、前記前面に開閉自在に取り付けられた前蓋とよりなり、前記前蓋を開閉して前記箱状のケース内に所定の基板が収納される基板収納ケースにおいて、前記箱状のケース及び前記前蓋の内の所定の部分を、合成樹脂中に導電性のある共重合体を形成した材料より構成したことを特徴とする基板収納ケース。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-294382
  
• 特開平4-366165
  
• 特開昭58-095812