特許
J-GLOBAL ID:200903076738755261

表面処理方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 隆司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-097072
公開番号(公開出願番号):特開平5-131132
出願日: 1992年03月24日
公開日(公表日): 1993年05月28日
要約:
【要約】【構成】 筒状電極3と、該筒状電極3の内部に配置される対極7と、これら両電極間に電圧を印加して大気圧グロープラズマを発生させるための電源11とを具備した表面処理装置を用い、前記筒状電極内部に大気圧グロープラズマを形成させると共に、該プラズマ領域に被処理物4を配置し、所用のガス存在下において大気圧中で電極間に電圧を印加してグロープラズマを発生させ、大気圧グロープラズマにより被処理物4の表面処理を行う。【効果】 本発明によれば、大気圧グロープラズマを筒状電極の内側に発生させることにより、特に棒状、管状、繊維状等の軸対称基材表面に均一にしかも効率よく表面処理を施すことができ、長尺物の連続表面処理も極めて容易であり、また、大気圧程度の圧力下での処理のため、水分やガス可塑剤などを多く含む基材の表面処理にも良好に適用し得ると共に、処理中にほとんど発熱がないので低融点物質からなる基材にも良好に適用し得る。
請求項(抜粋):
所用のガス存在下において大気圧中で電極間に電圧を印加してグロープラズマを発生させ、被処理物表面を大気圧グロープラズマ法により処理する表面処理方法において、前記電極の一方を筒状電極とし、他方の電極を該筒状電極の内部に配置して、前記筒状電極の内部に大気圧グロープラズマを形成させると共に、該プラズマ領域に被処理物を配置して表面処理を行うことを特徴とする表面処理方法。
IPC (5件):
B01J 19/08 ,  C08J 7/00 306 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  D06M 10/00
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平2-015171
  • 特開昭56-121631
  • 特開昭60-024376
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