特許

J-GLOBAL ID：200903076743661372

流動体供給装置

発明者： 天田 春男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-095194
公開番号（公開出願番号）：特開平5-293358
出願日： 1992年04月15日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：

【要約】【目的】 流動体を清浄かつ高純度な状態で供給速度およびサックバック速度を精密に制御しながら、精度良く定量供給し、定量サックバックし、滴下ノズルの汚れ、液垂れ発生を防止することが可能な流動体供給技術を提供する。【構成】 流動体供給機能部2,流動体供給開閉弁機能部3,流動体垂れ防止機能部7の各流動体供給制御要素について、動作タイミングと動作速度の双方を組合せて制御する構成要素動作制御部8を設け、滴下ノズル4に対する流動体1の供給/供給停止動作、さらにはサックバック動作を精密に制御する。

請求項（抜粋）：

流動体供給ノズルに流動体を供給する流動体供給機能制御要素と、流動体供給機能制御要素より供給された流動体の前記流動体供給ノズルに対する供給/供給遮断動作を制御する流動体供給開閉弁制御要素、および流動体供給遮断後、前記流動体供給ノズル内に流動体を引き込む動作を制御する流動体垂れ防止制御要素の少なくとも一方と、前記各制御要素を統轄して制御する主制御部とを備え、前記各制御要素の動作を組合せて制御することを特徴とする流動体供給装置。

IPC (4件)：

B01J 4/02 ,  B01F 15/02 ,  B05B 1/30 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 361 E ,  H01L 21/30 361 B

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平1-288361
  

審査官引用 (4件)

• 特開平1-288361
  
• 特開昭63-076327
  
• 特開昭64-021924
  
• 特開平1-288361