特許
J-GLOBAL ID：200903076744165646
洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-303536
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151403
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 洗浄装置内で発生する気泡を減少させることによりフィルターの能力を向上させパーテイクル付着の少ない洗浄装置にする。【構成】 液を循環させるためのポンプ部3と、液中のパーテイクルを除去するためのフィルタ部4と、フィルタ部4の直前に配置され、液中の気泡を除去するための脱気タンク部6と、洗浄処理を行なうための槽1とを備えた洗浄装置である。【効果】 洗浄中に発生する気泡を減少させることができ、循環量の確保、洗浄の安定化を達成することができる。
請求項（抜粋）：
液を循環させるためのポンプ部と、液中のパーテイクルを除去するためのフィルタ部と、液中の気泡を除去するための脱気タンク部と、洗浄処理を行なうための槽とを備えた洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/10
