圧電振動子およびこれを用いた外力検知センサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-211323
公開番号（公開出願番号）：特開平10-054842
出願日： 1996年08月09日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】櫛歯溝電極により基板の表層部のみならず内部にも電界を形成し、駆動効率および検出効率がよく、低電圧駆動が可能で、歩留まりのよい圧電振動子およびこれを用いた外力検知センサを提供する。【解決手段】基部2aが支持基板1に支持された圧電支持梁2の一つの主面に、櫛歯溝電極3aを形成し、この櫛歯溝電極3aに電圧を印加して圧電支持梁3aを屈曲駆動させ、また、外力による圧電支持梁3aの屈曲振動による発生電圧を前記櫛歯溝電極3aから取り出すことを特徴とする圧電振動子。

請求項（抜粋）：

基部が支持基板に支持された圧電支持梁の一つの主面に、梁軸と直交する複数本の溝が梁軸方向に一定間隔をおいて形成され、これらの複数本の溝には電極がそれぞれ形成され、これらの電極からは引出電極が互い違いに反対方向に引き出されて櫛歯溝電極が形成されていることを特徴とする圧電振動子。

IPC (3件)：

G01P 15/09 , G01P 9/04 , G01C 19/56

FI (3件)：

G01P 15/09 , G01P 9/04 , G01C 19/56

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