特許

J-GLOBAL ID：200903076754706025

接触継電ユニット

発明者： 村田 正直 ,  大谷 幹雄
出願人/特許権者： アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社
代理人 (2件)： 梶 良之 ,  須原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-183263
公開番号（公開出願番号）：特開2008-016213
出願日： 2006年07月03日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：

【課題】刷子とスリップリングとが化学薬品ガスや有機ガスに起因して電気的に接触不良になるのを抑制する。【解決手段】この接触継電ユニットは、化学薬品ガスや有機ガスの存在する恐れのある半導体生産工場で使用されるOHT搬送台車に搭載されている。接触継電ユニットは、閉鎖空間を形成する外装カバー11を備えている。そして、その外装カバー11により形成される閉鎖空間7内には、スリップリング12と、スリップリング12に接触するように配置される刷子15とが配置されている。そして、接触継電ユニットには、化学薬品ガスや有機ガスを吸着するガス吸着部材16が外装カバー11の内面に設置されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

半導体生産工場で使用される搬送台車に搭載される接触継電ユニットであって、 閉鎖空間を形成する外装カバーと、 前記閉鎖空間内に配置されるスリップリングと、 前記閉鎖空間内に固定され、前記スリップリングに接触するように配置される刷子と、 前記外装カバーの内面に設置され、前記半導体生産工場の製造プロセスで用いられる化学薬品ガス及び前記半導体生産工場内の建材や装置材として使用される樹脂から放出される有機ガスを吸着するガス吸着部材とを備えていることを特徴とする、接触継電ユニット。

IPC (1件)：

H01H 19/06

FI (1件)：

H01H19/06

Fターム (8件)：

5G019AA03 ,  5G019AF41 ,  5G019AG12 ,  5G019AM03 ,  5G019CX92 ,  5G019KK02 ,  5G019SK02 ,  5G019SY18

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭60-174444号公報
  

審査官引用 (4件)

• 懸垂式昇降搬送装置用台車における通電機構の洗浄方法及び装置並びにこの洗浄装置を備えた懸垂式昇降搬送装置用台車
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-331611   出願人：アシストシンコー株式会社
• 特開昭62-221137
  
• 半導体製造用露光装置およびこれを用いた半導体デバイス製造プロセス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-265689   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭62-221137