特許

J-GLOBAL ID：200903076759275324

加速度センサー

発明者： 清水 紀智 ,  寒川 潮 ,  前田 修子 ,  岩澤 利幸 ,  三浦 眞芳 ,  佐藤 健夫
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019595
公開番号（公開出願番号）：特開平9-211020
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】 半導体プロセスが適用可能で、温度変化、雑音混入等による影響がなく高精度の共振型加速度センサーを提供する。【解決手段】 加速度により移動可能な慣性体2と、慣性体2を支持しその移動時に変形する支持梁3と、支持梁3に隣接して設置された圧電素子の励振部4と圧電素子の受信部5と伝播部6とを有する共振体7を備え、加速度が印加された際、支持梁3の変形に対応した共振体7の変形により生じるその振動状態の変化を励振部4への入力信号と受信部5よりの出力信号により検出して、印加された加速度を測定する加速度センサーであって、支持梁3及びその近傍上に形成された共振体7へ連絡する配線パターンが対称形を有する構成に代表される加速度センサーである。

請求項（抜粋）：

加速度により移動可能な慣性体と、前記慣性体を支持し慣性体の移動時に変形する支持梁と、前記支持梁に隣接して設置された圧電素子からなる励振部と圧電素子からなる受信部と伝播部とを有する共振体を備え、加速度が印加された際、前記支持梁の変形に対応した共振体の変形により生じる共振体の振動状態の変化を前記励振部への入力信号と受信部よりの出力信号により検出して、印加された加速度を測定する加速度センサーであって、前記支持梁及びその近傍上に形成された前記共振部へ連絡する配線パターンが対称形を有する加速度センサー。

IPC (3件)：

G01P 15/10 ,  H01L 29/84 ,  H01L 41/08

FI (3件)：

G01P 15/10 ,  H01L 29/84 A ,  H01L 41/08 Z