特許
J-GLOBAL ID：200903076763048626
外力計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-000914
公開番号（公開出願番号）：特開2003-202226
出願日： 2002年01月07日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：
【要約】【課題】 支持梁と質量部との間に捩れ連結部を設けることにより、質量部の振動状態を安定させ、検出精度や信頼性を向上させる。【解決手段】 中央の質量部3,5と、質量部4,6からなる両側質量部7とを外側支持梁8により連結し、この支持梁8のうち質量部3,5と両側質量部7とが逆位相で振動するときの節に対応する節部8Aを固定部13によって基板2に固定する。そして、質量部3〜6をX軸方向に振動させた状態で、質量部3,4をZ軸周りの角速度Ωに応じてY軸方向に変位させ、その変位量を角速度として検出する。また、質量部6と支持梁8との間には、Z軸周りで捩れるように撓み変形する捩れ連結部10を設ける。これにより、両側質量部7がX軸方向に振動するときには、これらが支持梁8の撓み変形によって角速度と関係なくY軸方向に変位するのを防止でき、検出精度を高めることができる。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板と隙間をもって対向し互いに直交するX軸,Y軸,Z軸からなる3軸方向のうちY軸方向に並んで配置された複数の質量部と、該各質量部を挟んでX軸方向の両側に撓み変形可能に設けられY軸方向に延びた支持梁と、前記各質量部のうちY軸方向の中間部位に位置する中間質量部と該支持梁との間を連結する中間連結部と、前記各質量部のうちY軸方向の両側に位置する両側質量部と前記支持梁との間をZ軸周りの捩れが可能な状態で連結する捩れ連結部と、前記基板と支持梁との間に設けられ該支持梁を基板に固定する固定部と、前記各質量部のうち少なくとも一部の質量部を振動させることにより互いに隣接する質量部が逆位相でX軸方向に振動する振動発生手段と、前記各質量部に角速度または加速度が作用したときに質量部がY軸方向に変位する変位量を角速度または加速度として検出する外力検出手段とにより構成してなる外力計測装置。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/125
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/125
2F105BB05
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
