特許

J-GLOBAL ID：200903076766613170

液体噴射ヘッド

発明者： 矢 崎 士 郎
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (7件)： 吉武 賢次 ,  永井 浩之 ,  岡田 淳平 ,  名塚 聡 ,  森 秀行 ,  勝沼 宏仁 ,  磯貝 克臣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-249419
公開番号（公開出願番号）：特開2004-082623
出願日： 2002年08月28日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】高密度に圧力発生室を区画する隔壁の剛性を高めることができる液体噴射ヘッドを提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、一側面に複数の圧力発生室12を形成するための複数の凹部を有する基板10と、基板の凹部を覆って圧力発生室を形成する一側面を有する弾性膜50と、を備える。弾性膜の他側面において、各圧力発生室に対応する領域に複数の圧電振動子が形成される。各圧電振動子は、下部電極層60と圧電体層70と上部電極層80とを有している。隣接する圧力発生室間の隔壁11に対応する弾性膜の他側面の各領域に、圧電体層70及び上部電極層80の少なくとも一方を含む裏打ち仲介部330が形成される。各圧電振動子の変動を阻害しないように各圧電振動子を覆う凹部112を一側面に有する裏打ち部材110が、当該裏打ち部材の凹部間の区画壁111が裏打ち仲介部に当接するように配置される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一側面に複数の圧力発生室を形成するための複数の凹部を有する基板と、 基板の凹部を覆って圧力発生室を形成する一側面を有する弾性膜と、 弾性膜の他側面において、各圧力発生室に対応する領域に形成された複数の圧電振動子と、 を備え、 各圧電振動子は、下部電極層と圧電体層と上部電極層とを有しており、 隣接する圧力発生室間の隔壁に対応する弾性膜の他側面の各領域に、圧電体層及び上部電極層の少なくとも一方を含む裏打ち仲介部が形成され、 各圧電振動子の変動を阻害しないように各圧電振動子を覆う凹部を一側面に有する裏打ち部材が、当該裏打ち部材の凹部間の区画壁が裏打ち仲介部に当接するように配置されている ことを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (3件)：

B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16

FI (2件)：

B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

Fターム (12件)：

2C057AF09 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG99 ,  2C057AP02 ,  2C057AP34 ,  2C057AP58 ,  2C057AP75 ,  2C057AP79 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14