特許
J-GLOBAL ID：200903076769115589
プロ-ブ及びプロ-ブの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-343047
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167867
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 近接場光学顕微鏡等に応用した場合に、顕微鏡観察等における分解能の向上が可能なプローブ及びその製造方法を提供すること。【構成】 試料からの検査光を検出部に導く探査部が、前記検出部に連通する孔を備えたプローブの探査部を製造する方法であって、管状部材の少なくとも一部を加熱する加熱工程と、管状部材を軸方向に延伸させて切断する延伸工程と、を備えているもの。試料からの検査光を探査する探査部と、ここで探査した検査光を検出する検出部とからなり、前記探査部が、前記検出部に連通する孔を備え、少なくとも前記連通孔の内壁面が光反射部材で構成されているプローブ。
請求項（抜粋）：
試料からの検査光を検出部に導く探査部が、前記検出部に連通する孔を備えたプローブの探査部を製造する方法であって、管状部材の少なくとも一部を加熱する加熱工程と、管状部材を軸方向に延伸させて切断する延伸工程と、を備えていることを特徴とするプローブの製造方法。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01N 21/27
, G02B 6/00
