研磨装置及び方法と磁気ヘッドと磁気記録再生装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田光由 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-057295
公開番号（公開出願番号）：特開平10-249714
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、加工物の表面を研磨する研磨方法に関し、ラップレートの向上と安定化を実現することを目的とする。【解決手段】定盤に加工物を押圧し、加工液を供給しつつ定盤を回転させることで、加工物の表面を研磨する研磨方法において、定盤の加工物対向面に押圧される形態で砥石部材を備える構成を採って、その砥石部材の内包する研磨粉を定盤の表面に埋め込みつつ、加工物の表面を研磨するように構成する。また、研磨粉の内包される砥石部材を備える定盤、あるいは、研磨粉の埋め込まれる定盤に加工物を押圧し、加工液を供給しつつ定盤を回転させることで、加工物の表面を研磨する研磨方法において、定盤の研磨粉よりも小さな径を持つ研磨粉の混入される加工液を用いて、加工物の表面を研磨するように構成する。

請求項（抜粋）：

定盤に加工物を押圧し、加工液を供給しつつ該定盤を回転させることで、該加工物の表面を研磨する研磨装置において、定盤の加工物対向面に押圧される形態で、研磨粉の内包される砥石部材が備えられるよう構成されることを、特徴とする研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 37/04 , G11B 5/127 , G11B 5/187

FI (3件)：

B24B 37/04 A , G11B 5/127 Q , G11B 5/187 Q

前のページに戻る