ポジ画像形成組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-017746
公開番号（公開出願番号）：特開平9-211863
出願日： 1996年02月02日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】ポジ画像形成組成物において高感度で露光後のベークによる膜収縮が少なく、良好なプロファイルと高解像力を有し、更に露光後、熱処理までの放置時間による解像力の劣化がほとんど起こらず、優れた安定性を有するレジスト組成物が得られる。また、UV域から赤外域の光線に対して高い感度を有し、非画像部の汚れのないオフセット印刷版が得られる。【解決手段】光もしくは熱の作用により酸を発生する化合物、及び特定のスルホンイミド化合物を含むことを特徴とするポジ画像形成組成物。

請求項（抜粋）：

(a)光もしくは熱の作用により酸を発生する化合物、(b)下記一般式(I)で示されるスルホンイミド化合物を含むことを特徴とするポジ画像形成組成物。 L1-(SO2-NR2-SO2-R1)n (I)式中、nは1〜6の整数であり、R1は芳香族基、置換芳香族基、アルキル基又は置換アルキル基を表わす。L1はn=1に対しては芳香族基、置換芳香族基、アルキル基又は置換アルキル基を表わし、n=2〜6に対しては置換基を有していても良い非金属原子からなる多価の連結基を表わす。R2は置換もしくは非置換のアルコキシメチル基、置換もしくは非置換のアリールメチル基、置換もしくは非置換の脂環式アルキル基を表わす。

IPC (4件)：

G03F 7/039 , C07C311/48 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 505

FI (4件)：

G03F 7/039 , C07C311/48 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 505

引用特許：

出願人引用 (5件)

感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-169032 出願人：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-168111 出願人：富士写真フイルム株式会社
レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-312672 出願人：日本ゼオン株式会社

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