特許
J-GLOBAL ID：200903076788435179
バイモルフ型圧電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249718
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104503
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：
【要約】【構成】 長手方向に片持梁、幅方向に両持梁で支持されるバイモルフ型圧電アクチュエータにおいて、幅方向の曲げ剛性が長手方向の曲げ剛性よりも高くなるように図1のような形状の中間電極もしくは補強材を用いていることを特徴とする。【効果】 バイモルフ型圧電アクチュエータの2次共振モードが1次共振モードに対して十分高くすることができ、閉ループ位置制御を行うときに、安定な制御系を構成することができる。
請求項（抜粋）：
長手方向に片持梁、幅方向に両持梁で支持される圧電アクチュエータにおいて、幅方向の曲げ剛性が長手方向の曲げ剛性よりも高くなるように構成されていることを特徴とするバイモルフ型圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
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