特許

J-GLOBAL ID：200903076793867583

ワークの研磨方法及び装置

発明者： 新 井 初 雪
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-046392
公開番号（公開出願番号）：特開平7-227756
出願日： 1994年02月21日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】 ワークを所望の厚さに精度良く研磨加工する。【構成】 ワーク6の厚さの減少と共に下降する上定盤1の変移をプローブ17で検出することにより加工中のワークの厚さを求め、その厚さが最終目標値より僅かに厚い基準目標値に等しくなったところで加工を途中停止し、停止したワーク6の実厚さを実厚さ測定手段21でキャリヤ5に保持された状態のまま測定したあと、この実厚さと基準目標値との差から上定盤1の摩耗量を算出して、その摩耗量に基づいて最終目標値を再設定し、ワークの厚さが最終目標値になるまで再加工を行う。

請求項（抜粋）：

太陽歯車及び内歯歯車に噛合して遊星歯車状に駆動されるキャリヤにワークを保持させ、該ワークを上定盤及び下定盤により両側から挟んで所定の厚さになるまで研磨加工する研磨方法において;加工のための寸法目標値として、ワークの仕上げ厚さとしての最終目標値よりも僅かに厚い基準目標値を設定する工程;ワークを研磨加工する工程;ワークの厚さの減少と共に下降する上定盤の変移から加工中のワークの厚さを測定し、その厚さが上記基準目標値に等しくなったところで加工を途中停止する工程;所定の位置に停止したワークの実厚さを実厚さ測定手段でキャリヤに保持された状態のまま測定する工程;ワークの実厚さと基準目標値との差から定盤の摩耗量を算出し、その摩耗量に基づいて最終目標値を設定する工程;ワークの厚さが最終目標値になるまで再加工を行う工程;を有することを特徴とするワークの研磨方法。