特許
J-GLOBAL ID：200903076798067704
電圧測定装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-049709
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251523
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 本発明は電圧測定装置に関し、微細配線に流れる高周波信号の電圧を測定しうるようにすることを目的とする。【構成】 原子間力顕微鏡2のプローブ3のカンチレバー13及び探針15を導電性として構成する。プローブ3に電圧取得回路部16を集積化して設けて構成する。
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡(2)の一部をなし、カンチレバー(13)と、該カンチレバーの基部を支持するカンチレバー支持部(14)と、該カンチレバーの先端の探針(15)とよりなるプローブ(3)の上記のカンチレバー(13)及び探針(15)を導電性とすると共に、該プローブに電圧値取得回路部(16)を設けた構成とし、最初に上記プローブを上記原子間力顕微鏡のプローブとして使用して微細配線上の電圧測定個所を定め、次いで上記プローブの探針を上記微細配線に接触させて上記電圧値取得回路部を通して電圧を測定する構成としたことを特徴とする電圧測定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/073
, G01R 31/26
