特許
J-GLOBAL ID：200903076806265863
加速度計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
寒川 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165926
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003369
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 加速度計の改良に関し、重り部を懸架する梁の応力が効率良く制御され、また、梁を構成する材料がエッチング用マスクとしても有効に機能する高性能の加速度計を提供することを目的とする。【構成】 加速を受ける重り部15が、空間を介してこれを囲む固定部14に、梁16によって懸架されており、また、重り部15と固定部14とは、弾性導電体よりなる上部電極6によって連結されており、この上部電極6に対接して、固定部14上に検出電極4が設けられている加速度計において、梁16は金属の薄膜9が炭化シリコン、窒化シリコン、窒化チタンまたは酸化シリコンの薄膜8・11をもってカバーされている板状体、または、金属の薄膜9と炭化シリコン、窒化シリコン、窒化チタンまたは酸化シリコンの薄膜8との複合膜からなる板状体で構成されている。
請求項（抜粋）：
加速を受ける重り部(15)が、空間を介してこれを囲む固定部(14)に、梁(16)によって懸架されてなり、前記重り部(15)と前記固定部(14)とは、弾性導電体よりなる上部電極(6)によって連結されてなり、該上部電極(6)に対接して、前記固定部(14)上に検出電極(4)が設けられてなる加速度計において、前記梁(16)は金属の薄膜(9)が炭化シリコン、窒化シリコン、窒化チタンまたは酸化シリコンの薄膜(8・11)をもってカバーされてなる板状体であることを特徴とする加速度計。
IPC (2件)：
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