特許

J-GLOBAL ID：200903076809224483

カラーフイルターの欠陥検査方法および欠陥検査装置

発明者： 菊間 史男 ,  曽根原 章夫
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-307002
公開番号（公開出願番号）：特開平5-118995
出願日： 1991年10月25日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 カラーフィルターの異物,欠陥が、クロム上,着色層上,着色層中,保護膜上,保護膜中などどこにあっても自動的に検出可能とする。【構成】 被検査物に対し上面と下面から光を照射し、上面から照射した光の反射光と下面から照射した光の透過光を1つの受光器にて受光する、すなわち反射光照明,透過光照明を同時に1つの受光器にて受光する。

請求項（抜粋）：

カラーフィルターの上面と下面から光を照射し、前記上面側に設置された光検出器により、上面からの照射光の反射光と下面からの照射光の透過光との合成された光を受光して、前記合成された光の光量の変化により欠陥を検出することを特徴とするカラーフィルターの欠陥検査方法。