特許

J-GLOBAL ID：200903076816439304

液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置

発明者： 宮田 佳直
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-234533
公開番号（公開出願番号）：特開2004-074457
出願日： 2002年08月12日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】圧電素子保持部を確実に密封し、圧電素子の破壊を防止することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】封止基板30には、各圧力発生室12の共通液体室105の一部を構成するリザーバ部31を有し、流路形成基板10と封止基板30との接合面の少なくとも圧電素子保持部32とリザーバ部31との間の両者を隔離する領域に、引き出し電極90と同一層で且つ引き出し電極90とは電気的に独立して形成された第1透湿防止層96と、第1透湿防止層96上に絶縁層110と同一層で且つ第1透湿防止層96よりも幅狭に形成された第2透湿防止層114と、第2透湿防止層114上に接続配線層120と同一層で且つ第2透湿防止層114を覆うように形成された第3透湿防止層121とで構成される透湿防止パターン130を設ける。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板と、該流路形成基板に振動板を介して設けられ前記圧力発生室に圧力を付与する圧電素子と、前記圧電素子の個別電極から引き出された引き出し電極と、少なくとも前記圧電素子の長手方向端部近傍に対向する領域に当該圧電素子の並設方向に亘って連続的に設けられると共に複数の圧電素子に共通する共通電極に対向する領域に貫通部を有する絶縁層と、該絶縁層上に連続的に設けられて前記貫通部を介して前記共通電極と電気的に接続される接続配線層と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接合されて当該圧電素子の運動を阻害しない程度の空間を確保する圧電素子保持部を具備する封止基板とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、 前記封止基板には、各圧力発生室の共通液体室の一部を構成するリザーバ部を有し、前記流路形成基板と前記封止基板との接合面の少なくとも前記圧電素子保持部と前記リザーバ部との間の両者を隔離する領域に、前記引き出し電極と同一層で且つ当該引き出し電極とは電気的に独立して形成された第1透湿防止層と、該第1透湿防止層上に前記絶縁層と同一層で且つ当該第1透湿防止層よりも幅狭に形成された第2透湿防止層と、該第2透湿防止層上に前記接続配線層と同一層で且つ当該第2透湿防止層を覆うように形成された第3透湿防止層とで構成される透湿防止パターンを有することを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (3件)：

B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16

FI (2件)：

B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

Fターム (8件)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG91 ,  2C057AP25 ,  2C057AQ02 ,  2C057AQ04 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14