特許

J-GLOBAL ID：200903076818224976

光モジュール用シリコンプラットフォーム

発明者： 野村 剛彦 ,  岩瀬 正幸
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-209163
公開番号（公開出願番号）：特開2001-036182
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 高速伝送可能な小型光モジュールを、低コストに供給することが可能になる光モジュール用シリコンプラットフォームを提供する。【解決手段】 シリコン基板(102)上に受発光素子(101)を搭載する光モジュール用シリコンプラットフォーム(100)であって、シリコン基板(102)上に誘電体膜(106)が形成され、誘電体膜(106)上に受発光素子(101)の引き出し配線部(107)が設けられ、引き出し配線部(107)のボンディングパッド部(108)はシリコン基板(102)上の誘電体膜(106)が除去された状態で形成されている。

請求項（抜粋）：

シリコン基板上に受発光素子を搭載する光モジュール用シリコンプラットフォームであって、前記シリコン基板上に誘電体膜が形成され、前記誘電体膜上に前記受発光素子の引き出し配線部が設けられ、前記引き出し配線部のボンディングパッド部はシリコン基板上の誘電体膜が除去された状態で形成されていることを特徴とする光モジュール用シリコンプラットフォーム。

IPC (2件)：

H01S 5/022 ,  H01L 31/02

FI (2件)：

H01S 3/18 612 ,  H01L 31/02 B

Fターム (15件)：

5F073AB05 ,  5F073AB28 ,  5F073BA02 ,  5F073CA12 ,  5F073EA14 ,  5F073FA07 ,  5F073FA13 ,  5F073FA18 ,  5F088BA02 ,  5F088BA15 ,  5F088BB01 ,  5F088FA05 ,  5F088GA03 ,  5F088JA03 ,  5F088LA01