特許

J-GLOBAL ID：200903076827838553

移動ステージ装置

発明者： 岩本 和徳 ,  是永 伸茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-077559
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283321
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 高速、高精度であり、ストロークが大きく低発熱な移動ステージ装置を提供する。【構成】 所定の移動範囲を有するXステージ104、Yステージ105と、Xステージ104、Yステージ105を、それぞれ、前記移動範囲全体にわたって駆動可能な、第1の駆動手段である、Xリニアモータ106A、106BおよびYリニアモータ107A、107Bと、Xステージ104、Yステージ105を、それぞれ、前記移動範囲全体にわたって、前記第1の駆動手段による移動方向に平行して駆動可能な第2の駆動手段である、Xねじ軸110およびYねじ軸121A,121Bが連結されたXモータ108およびYモータ109A、109Bとを有し、Xねじ軸110およびYねじ軸121A,121BとXステージ104およびYステージ105とが、それぞれ移動方向に変形可能な、X板ばね115およびY板ばねを介して連結されている。

請求項（抜粋）：

所定の移動範囲を有する移動ステージを備えた移動ステージ装置において、前記移動ステージを、前記移動範囲全体にわたって駆動可能な第1の駆動手段と、該第1の駆動手段と異なる機構によってなり、前記移動ステージを、前記移動範囲全体にわたって、前記第1の駆動手段による移動方向に平行して駆動可能な第2の駆動手段とを有し、該第2の駆動手段と前記移動ステージとが、移動方向に変形可能なばね部材を介して連結されていることを特徴とする移動ステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/30 331 J ,  H01L 21/30 301 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-181198
  
• 特開平2-270403
  
• 特開平1-181522