特許
J-GLOBAL ID：200903076843378368
超高純度窒素製造装置及びその起動方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木戸 一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033573
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231763
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 超高純度窒素製造装置のベーキング及びその後の起動時に、製品窒素系統の配管壁面等に不純物が付着することを防止し、製品超高純度窒素の汚染を防止することができる起動方法を提供する。【構成】 超高純度窒素ガスを加熱器26で加熱して製品超高純度窒素ガスの採取経路、精留塔6及び凝縮器8を含む機器,配管内に導入して不純物を除去した後、前記超高純度窒素ガスを加熱することなく前記機器,配管内に導入して機器,配管を予冷し、次いで機器,配管内を加圧するとともに、前記凝縮器6の蒸発側に液化窒素貯槽21からの液化窒素を寒冷供給用として導入し、前記超高純度窒素ガスを冷却液化して精留塔内を冷却した後、原料空気の導入を開始して精留を開始する。
請求項（抜粋）：
圧縮,精製,冷却した原料空気を、凝縮器を備えた精留塔に導入して液化精留分離を行う超高純度窒素製造装置において、液化ガスを貯留する液化ガス貯槽を設け、該貯槽内の液化ガスを前記凝縮器の超高純度窒素ガスを液化させる気化側に供給する経路を設けるとともに、超高純度液化窒素を貯留する超高純度液化窒素貯槽を設け、該超高純度液化窒素貯槽内の超高純度液化窒素を気化し、加熱した後、前記装置内に導入する経路を設けたことを特徴とする超高純度窒素製造装置。
IPC (2件)：
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