特許
J-GLOBAL ID:200903076843508199

光タップの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-268543
公開番号(公開出願番号):特開平10-115726
出願日: 1996年10月09日
公開日(公表日): 1998年05月06日
要約:
【要約】【課題】 適切な光分配を行う光タップを確実に製造する方法を提供する。【解決手段】 本願に係る光タップ製造方法では、主線導波路10aの入射端20側から2番目のブラッググレーティング302を形成するに際して、入射端20から検査光を入射させ、グレーティング302よりも入射端側にあるグレーティング301を透過した検査光の光量を測定し、この測定結果に基づいてグレーティング302が示すべき反射光量を設定する。そして、この設定値を示すようにグレーティング302を形成する。グレーティング303についても同様に、グレーティング301、302を順次に透過した検査光の光量を測定し、この測定結果に基づいてグレーティング303が示すべき反射光量を設定してから形成を開始する。
請求項(抜粋):
主線導波路と、この主線導波路から分岐した第1及び第2の支線導波路と、前記主線導波路と前記第1及び第2支線導波路との各合流箇所にそれぞれ設けられ、前記主線導波路を伝搬する所定波長の光を反射して前記各支線導波路に向かわせる第1及び第2のブラッググレーティングと、を備える光タップの製造方法であって、前記主線導波路と前記第1及び第2支線導波路とを備える光導波路体を用意し、前記主線導波路と前記第1支線導波路との合流箇所に、所定の反射特性を有するように前記第1ブラッググレーティングを形成する第1のステップと、前記第1ステップによって前記第1ブラッググレーティングを形成した後、前記第1ブラッググレーティングの反射特性を測定する第2のステップと、前記第2ステップの測定結果に基づいて、前記第2ブラッググレーティングが有すべき反射特性を設定する第3のステップと、前記主線導波路と前記第2支線導波路との合流箇所に、前記第3ステップで設定された反射特性を有するように前記第2ブラッググレーティングを形成する第4のステップと、を備える光タップの製造方法。
IPC (2件):
G02B 6/13 ,  G02B 6/12
FI (2件):
G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 F

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