特許

J-GLOBAL ID：200903076846588827

原料容器

発明者： 平塚 一 ,  新井 貴
出願人/特許権者： 日本原子力研究所
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-317398
公開番号（公開出願番号）：特開平6-154579
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：

【要約】【目的】 ボロン化合物であるデカボラン等の常温で固体であり、ある温度に加熱すると蒸気圧を発生する材料を容器内に充填し、これを容器内を排気後に加熱して純度の良い蒸気圧を安定して使用設備に供給する原料容器。【構成】 容器本体、バルブ、フィルターガスケット、継手及び配管を組合わせ、容器本体内に、常温で固体であるボロン化合物であるデカボラン等の固体原料を充填した状態で真空排気をすることができ、且つ容器本体、バルブ、フィルターガスケット、継手及び配管を加熱した場合において、固体原料が固体から液体、そして一定の蒸気圧で気化させてプロセスにそのガスを供給する原料容器。

請求項（抜粋）：

容器本体、バルブ、フィルターガスケット、継手及び配管を組合わせ、容器本体内に、ボロン化合物の1つであるデカボラン等の常温で固体である固体原料を充填した状態で真空排気をすることができ、且つ容器本体、バルブ、フィルターガスケット、継手及び配管を加熱した場合において、固定原料を固体から液体、そして一定の蒸気圧において気化させてプロセスにそのガスを供給する原料容器。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-318229
  
• 特開平2-026017
  
• 特開平4-180567