特許
J-GLOBAL ID：200903076848029116
エアースピンドルの傾き調整機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298165
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132232
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：
【要約】【課題】研磨装置に配設され、垂直方向の軸心を有し、下端に研磨砥石が装着される回転可能なスピンドル本体を、エアーの圧力によって支持するエアースピンドルにおいて、スピンドル本体の傾きの調整を容易に行う。【解決手段】スピンドル本体を垂直方向に支持するスラストベアリングに多数備えたエアーの吹き出し口を少なくとも3つ以上の領域に分割し、各領域毎に個別にエアーの供給圧を調整する。
請求項（抜粋）：
被加工物の表面を研磨する研磨砥石が装着されるスピンドル本体と、該スピンドル本体をエアーによって支持するラジアルベアリング、スラストベアリングを含むハウジングとから構成されるエアースピンドルにおいて、前記スラストベアリングのエアー吹き出し領域は、少なくとも3つの領域に分割されており、該分割されたエアー吹き出し領域へのエアーの供給圧を個別に調整して前記スピンドル本体の傾きを調整するエアースピンドルの傾き調整機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16C 32/06 Z
, B24B 47/10
