特許

J-GLOBAL ID：200903076852013585

薄板状ワークの搬送方法

発明者： 神部 圭一 ,  氏益 稔
出願人/特許権者： 株式会社オーク製作所
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-024648
公開番号（公開出願番号）：特開平10-218353
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：

【要約】【課題】 薄板状ワークの上面に搬送装置を接触させることなく、ワークを露光位置に搬入および搬出できる薄板状ワークの搬送方法を提供する。【解決手段】 搬入側に設けたローラコンベア21の上部に薄板状ワーク22を載置して露光部25に向って移送する工程Iと、移送中のワーク22を露光部25に設けたベルトコンベア23の上部に受け取って露光用定盤24の上方に搬入する工程IIと、前記ベルトコンベア23を下降させて前記露光用定盤24の上面にワーク22を移載する工程IIIと、露光後、前記ベルトコンベア23を上昇させてベルトコンベア23の上部にワーク22を受け取り、更に露光用定盤24の上方に持ち上げる工程IVと、持ち上げたワーク22を前記ベルトコンベア23の上部に載置して露光部から搬出する工程Vと、搬出中のワーク22を搬出側に設けたローラコンベア85の上部に受け取って移送する工程とからなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

搬入側に設けたローラコンベアの上部に薄板状ワークを載置して露光部に向って移送する工程と、移送中のワークを露光部に設けたベルトコンベアの上部に受け取って露光用定盤の上方に搬入する工程と、前記ベルトコンベアを下降させて前記露光用定盤の上面にワークを移載する工程と、露光後、前記ベルトコンベアを上昇させてベルトコンベアの上部にワークを受け取り、更に露光用定盤の上方に持ち上げる工程と、持ち上げたワークを前記ベルトコンベアの上部に載置して露光部から搬出する工程と、搬出中のワークを搬出側に設けたローラコンベアの上部に受け取って移送する工程とからなることを特徴とする薄板状ワークの搬送方法。

IPC (2件)：

B65G 47/52 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

B65G 47/52 C ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-051240