特許

J-GLOBAL ID：200903076853135641

超高純度ガス用の分配装置のバルブ一体型カップリング装置

発明者： ブライス エバンス ,  ヘレン レベン ,  ジョシュア コリンズ ,  ラッセル ロジャーズ
出願人/特許権者： エアロクイップ コーポレイション
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-078777
公開番号（公開出願番号）：特開平10-047515
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 超高純度のガス処理に好適なバルブ一体型カップリング装置を提供する。【解決手段】 バルブハウジング55a〜dと、ハウジング55a〜dに滑動可能に取付けられ、第1開口を通って直線的に移動できる先端に密封面を有するバルブステム32a〜dと、内周がバルブステム32a〜dに滑動可能に係合し、外周がハウジング55a〜dの内面に滑動可能に係合して、内面を二つの部分に分け、開口形成面がハウジング55a〜dの外面と内面との間を連結する実質的に平坦な可撓性ダイヤフラム60a〜dとを含む。第1位置においてバルブステム32a〜dの密封面が第1開口形成面と係合し、バルブステム32a〜dの先端は第1開口形成面の境界領域でハウジング55a〜dの外面と実質的に同一面とされ第1開口がブルノーズ34a〜dで密封されるとき、ハウジング55a〜dの内面の最少限の部分だけしか外部環境に露出されない。

請求項（抜粋）：

超高純度ガスを分配するバルブ一体型カップリング装置であって、外面と、内部のガス搬送チャンバを画成する内面と、前記内面から前記外面へ向かって延在し、第1および第2開口を画成する第1および第2開口画成面とを有するバルブハウジングであって、第1および第2開口が前記ガス搬送チャンバとハウジングの外面が露出される外部環境との間のガスの流れを可能にしているバルブハウジングと、基端および先端が前記ハウジングに滑動可能に取付けられ、前記第1開口を通って延在する軸線に沿って第1位置と第2位置との間を直線的に移動できるようになされており、前記先端に密封面を有するバルブステムと、外周および内周を有し、前記内周が前記バルブステムに滑動可能に係合し、前記外周は前記ハウジングの前記内面に滑動可能に係合し、前記ハウジングの前記内面を二つの部分に分けており、前記開口形成面が前記ハウジングの前記外面と前記内面の共通部分との間を連結している実質的に平坦な可撓性ダイヤフラムとを含み、前記第1位置において、前記バルブステムの前記密封面が前記ハウジングの前記第1開口形成面と係合し、また前記バルブステムの先端は前記第1開口形成面の境界領域で前記ハウジングの前記外面と実質的に同一面とされており、これにより前記第1開口が前記ブルノーズで密封されるとき、前記ハウジングの前記内面の最少限の部分だけしか外部環境に露出されないようになされたことを特徴とするバルブ一体型カップリング装置。

IPC (4件)：

F16K 27/00 ,  F16K 7/16 ,  F16L 37/30 ,  F17D 1/04

FI (5件)：

F16K 27/00 C ,  F16K 27/00 D ,  F16K 7/16 C ,  F17D 1/04 ,  F16L 37/28 A