直流試験装置の校正方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252277
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083963
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】 IC試験装置やボード試験装置は、多数の直流試験ユニットを備えているが、この直流試験ユニットを校正する時に、デジタル電圧抵抗測定器をその校正基準として使用する場合、一般にデジタル電圧抵抗測定器の測定時間が長く、全体の校正時間に大きく影響する。本発明はこの校正時間を短縮し、且つ高精度に国家標準に校正することを目的とする。【構成】基準抵抗器1つとデジタル電圧抵抗測定器1台を備え、複数の直流試験ユニットをいくつかの組に分割する。分割された各組毎に1つの基準電圧源と1つの副基準抵抗器を設ける。これらの基準抵抗器と試験ユニットと電圧源と副基準抵抗器とは、複数のスイッチ介し校正ラインを通して測定器に接続される。この各々をプロセッサで制御しながら、各試験ユニットの校正を行う。

請求項（抜粋）：

校正基準となるデジタル電圧抵抗測定器(102)が校正ライン(101)に接続され、電流校正用基準抵抗器(104)及び複数の直流試験ユニット(1)がいくつかの組に分けられてその各組が選択スイッチ(2)と共通スイッチ(3)とを介して上記校正ライン(101)に接続され、各組の中には1つの基準電圧源(4)と1つの副基準抵抗器(5)をもち選択スイッチ(2)と共通スイッチ(3)とを介して上記校正ライン(101)に接続され、上記デジタル電圧抵抗測定器(102)、上記直流試験ユニット(1)、上記選択スイッチ(2)と共通スイッチ(3)とをプロセッサ(106)により制御することにより校正手段を構成することができる直流試験装置の校正において、上記基準抵抗器(104)と基準電圧源(4)とをデジタル電圧抵抗測定器(102)を用いて値付けし、直流試験ユニット(1)の任意の1つを用いて基準抵抗器(104)の値より副基準抵抗器(5)を値付けし、その後、値付けされた基準電圧源(4)と副基準抵抗器(5)を基準として直流試験ユニット(1)の校正する、ことを特徴とする直流試験装置の校正方法。

IPC (3件)：

G01R 19/00 , G01R 31/26 , G01R 35/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-151566
特開昭64-041875
特開平4-151566

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