特許

J-GLOBAL ID：200903076855018642

微細形状測定プローブおよび微細形状測定方法

発明者： 新井 雅典
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-118024
公開番号（公開出願番号）：特開2004-325159
出願日： 2003年04月23日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】本発明の目的は、被測定物Wの微細穴Hなどの目視困難な微細形状であっても、安全にかつ高信頼度で測定できる微細形状測定プローブおよびその微細形状測定プローブを用いた微細形状測定方法を提供することにある。【解決手段】被測定物の微細形状を測定する測定子を備えたプローブであって、測定子が被測定物と関与する測定点の近傍を即時的に目視観察可能な観察手段を備え、特にこの観察手段は測定点近傍の画像を撮像する撮像手段と、撮像手段による撮像結果を離隔した位置において表示する表示器とを備えた。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被測定物の微細形状を測定する測定子を備えたプローブであって、 前記測定子が前記被測定物と関与する測定点の近傍を観察可能な観察手段 を備えたことを特徴とする微細形状測定プローブ。

IPC (1件)：

G01B21/20

FI (1件)：

G01B21/20 C

Fターム (9件)：

2F069AA61 ,  2F069GG01 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL02 ,  2F069MM04 ,  2F069MM13 ,  2F069MM32 ,  2F069MM38 ,  2F069QQ01